半导体用超高纯金属溅射靶材
高纯铝以及铝合金靶材:
1、产品包括:Al、Al30ppmSi,、Al0.5Si、Al0.75Si、Al0.8Si、Al1Si、Al0.5Cu、AlSiCu等;
2、纯度为4N~5N5;
3、不同的晶粒晶向满足客户的不同溅射需求;
4、能够和客户一起开发特制的各种类型长寿命靶材


高纯铝以及铝合金靶材:
1、产品包括:Al、Al30ppmSi,、Al0.5Si、Al0.75Si、Al0.8Si、Al1Si、Al0.5Cu、AlSiCu等;
2、纯度为4N~5N5;
3、不同的晶粒晶向满足客户的不同溅射需求;
4、能够和客户一起开发特制的各种类型长寿命靶材