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电子束蒸发镀膜机

发布时间：2018-09-12 访问次数：5629次分享：

TFC- 3500是一款可在超净间内使用的低成本镀膜机，它广泛应用于lift-off, conformal和光学镀膜等精密薄膜场所。此系统也应用于工艺过程需要加热，需要离子源清洗和离子源辅助沉积及两个蒸发源的组合沉积。此系统的基本配置提供750mm蒸发距来满足lift-off工艺应用。该系统支持多种组合的沉积源，辅加电源及各种不同的基片装卸夹具。

标准功能配置

系统控制

以PC为基础的控制系统提供了：

自动，手动以及维护三种系统控制模式系统具运行和事故记录功能以及完整工艺数据记录功能电子枪扫描图案可设置和控制可编程的闭环控制基片加热闭环自动控制沉积速度和膜厚

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