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晶体扫描仪—显微扫描

发布时间:2018-09-05 访问次数:2617次 分享:

设备特点:

1. 采用高速相机配合高亮冷光源及光纤,保障图像的清晰度;
2. 夹具设计采用4x4矩阵扫描方案,提升检测效率;
3. 像素分辨率: 2.8um/1.4um/0.7um可选;
4. 采用3PC分析处理方案,保障检测效率及数据稳定性;
5. 可按照芯片尺寸设定最小分析单元。
系统配置:
用途
1、LED外延片/芯片/PSS图形缺陷检测
2、支持排线及电子印刷等图形缺陷检测
型号
XTL-2K
载物台
全自动扫描载物台
行程:158mm x 158mm/210mm x 210mm可选
支持夹具定制
反馈系统
线性反馈尺, 解析率:0.1um/1.0um可选
聚焦
电动聚焦系统
探测系统
特殊深景深显微组合设计; 高品质彩色成像系统;
综合放大倍率8.0x~100x; 超长工作距离>50mm
照明方式
专用组合环形光源及同轴光可切换照明
软件系统
高性能缺陷检测算法软件系统,内嵌美军标判据基准软件;
提供各类数据库接口,可将测量结果上传至工艺主控终端
检查性能
高品质自动抓图及拼图功能; 结合自动标注存档功能
隔震系统
隔振平台,有效隔离高频振动
标配外观尺寸
长:1200mm   宽:800mm   高:1500mm

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